一般，按加工精度區(qū)分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密機(jī)械加工、超精密機(jī)械加工三個(gè)階段。
現(xiàn)在，精密機(jī)械加工是指加工精度為1~0.1?m，外表粗糙度為Ra0.1~0.01?m的加工技能，但這個(gè)界限是隨著加工技能的前進(jìn)不斷變化的，今天的精密機(jī)械加工可能就是明天的一般加工。
精密機(jī)械加工所要解決的問題：
一是加工精度，包含形位公差、尺度精度及外表情況；
二是加工功率，有些加工能夠獲得較好的加工精度，卻難以獲得高的加工功率。精密機(jī)械加工包含微細(xì)加工和超微細(xì)加工、光整加工等加工技能。傳統(tǒng)的精密機(jī)械加工方法有砂帶磨削、精密切削、珩磨、精密研磨與拋光等.
超精密機(jī)械加工包含哪些呢？
超精密機(jī)械加工包含微細(xì)加工、超微細(xì)加工、光整加工、精整加工等加工技能。微細(xì)加工技能是指制作細(xì)小尺度零件的加工技能；超微細(xì)加工技能是指制作超細(xì)小尺度零件的加工技能，它們是針對集成電路的制作要求而提出的，由于尺度細(xì)小，其精度是用切除尺度的絕對值來表明，而不是用所加工尺度與尺度差錯(cuò)的比值來表明。光整加工一般是指下降外表粗糙度和進(jìn)步外表層力學(xué)機(jī)械性質(zhì)的加工方法，不著重于進(jìn)步加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實(shí)際上，這些加工方法不僅能進(jìn)步外表質(zhì)量，并且能夠進(jìn)步加工精度。精整加工是近年來提出的一個(gè)新的名詞術(shù)語，它與光整加工是對應(yīng)的，是指既要下降外表粗糙度和進(jìn)步外表層力學(xué)機(jī)械性質(zhì)，又要進(jìn)步加工精度(包含尺度、形狀、位置精度)的加工方法。
現(xiàn)在超精密機(jī)械加工的精度情況如何？
現(xiàn)在世界上超精密機(jī)械加工達(dá)到的最高技能水平如下：加工精度0.025μm，外表粗糙度Ra0.0045μm，即已進(jìn)入了納米級(jí)加工精度的時(shí)代。在丈量技能方面，對小位移的丈量：電容式測頭分辨率可做到0.5nm(量程為15μm)和0.1nm(量程為5μm)，線性差錯(cuò)小于0.1%；光電子纖維光學(xué)測頭的分辨率可到0.5nm(量程為30μm)，線性差錯(cuò)為5%；掃描隧道顯微鏡(STM)的分辨率可達(dá)0.01nm(量程20mm時(shí))；X射線干涉儀的分辨率還做到0.003nm(量程200μm時(shí))。對大長度尺度的丈量，外差式激光干涉儀的分辨率可做到1.25nm(量程±2.6m)；氦氖激光(實(shí)驗(yàn)室)的分辨率可做到0.01μm(量程為2mm)；莫爾條紋光學(xué)尺的分辨率可做到10nm(量程1m)，精度為1μm/m。對視點(diǎn)丈量，莫爾條紋視點(diǎn)光學(xué)尺的分辨率可做到0.005"(360°范圍)，精度0.1"，因此丈量方面基本上滿足了納米級(jí)加工技能要求。
怎么區(qū)分精密機(jī)械加工和超精密機(jī)械加工？
一般稱低于3 μm精度的加工為普通精度，而高于此值的加工則你之為超精度加工。
在高精度訓(xùn)工的范疇內(nèi)，依據(jù)精度水平的不同，分為三個(gè)檔次:
精度為3～O．3 μm，粗糙度為O．3～O·03μm的叫精密機(jī)械加工；
精度為0．3～0．03 μm，粗糙度為0．03～0．005 μm的叫超精密機(jī)械加工，或亞微米加工；
精度為0．03 μm（30納米），粗糙度優(yōu)于0．005 μm以上的則稱為納米（nm）加工。
